СИНТЕЗ МОЛИБДАТА СВИНЦА PbMoO4 РАСПЫЛЕНИЕМ Pb И Mo ИОННЫМИ ПУЧКАМИ // Вестник БГУ. Химия. Физика. - 2024. №2. . - С. 29-32.

СИНТЕЗ МОЛИБДАТА СВИНЦА PbMoO4 РАСПЫЛЕНИЕМ Pb И Mo ИОННЫМИ ПУЧКАМИ

DOI: 10.18101/2306-2363-2024-2-29-32 УДК: 539.231

В статье рассмотрен синтез тонких пленок молибдата свинца PbMoO4 методом распыления ионными пучками. Предложена методика роста тонких пленок PbMoO4 путем независимого распыления двух мишеней (свинца Pb и молибдена Mo) с образованием потоков частиц, падающих на поверхность подложек, где происходит синтез молибдата свинца. Предполагается, что данная методика формирования потоков газообразных частиц свинца и молибдена по направлению к подложке с последующим отжигом в атмосфере полученных пленок приведет к формированию стехиометрических тонких пленок молибдата свинца. Осуществлен расчет коэффициен- тов распыления мишеней пучками ионов аргона Ar+ с использованием математической программы MathCad. Предложены оптимальные режимы ростовых процессов.

тонкие пленки, молибдат свинца, синтез, ионные пучки, распыление, потоки частиц.

Семенов А. П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение. Улан-Удэ: Изд-во БНЦ СО РАН, 1999. 208 с. Текст: непосредственный.

Sigmund P. Theory of sputtering. Phys. Rev. 1969; 184 (2): 383–416.