МОДЕЛИРОВАНИЕ РОСТА ТОНКИХ ПЛЕНОК МОЛИБДАТА СВИНЦА PbMoO4 РАСПЫЛЕНИЕМ ИОННЫМИ ПУЧКАМИ // Вестник БГУ. Химия. Физика. - 2024. №3. . - С. 20-26.

МОДЕЛИРОВАНИЕ РОСТА ТОНКИХ ПЛЕНОК МОЛИБДАТА СВИНЦА PbMoO4 РАСПЫЛЕНИЕМ ИОННЫМИ ПУЧКАМИ

DOI: 10.18101/2306-2363-2024-3-20-26 УДК: 539.231

В статье рассмотрен рост тонких пленок молибдата свинца PbMoO4 методом распыления ионными пучками, который имеет ряд преимуществ по сравнению с другими методами: проведение опытов в вакуумных условиях, что значительно влияет на чистоту эксперимента; рабочая камера отделена от области горения разряда, что позволяет контролировать процесс выращивания покрытий. Предложены две методики роста тонких пленок PbMoO4 путем независимого распыления двух мишеней (свинца Pb и молибдена Mo), а также путем распыления мишеней PbO и MoO3 с образованием потоков частиц, падающих на поверхность подложек, где происходит синтез молибдата свинца. Осуществлено моделирование в зависимости от технологических параметров с использованием математической программы MathCad. Предложены оптимальные режимы ростовых процессов.

моделирование, тонкие пленки, молибдат свинца, ионные пучки, распыление.

Семенов А. П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение. Улан-Удэ: Изд-во БНЦ СО РАН, 1999. 207 с. Текст: непосредственный.

Sigmund P. Theory of Sputtering. Phys. Rev. 1969; 184(2): 383–416.

Халтанов В. Э. Синтез молибдата свинца распылением ионными пучками // Вестник Бурятского государственного университета. Химия. Физика. 2024. Вып. 2. С. 29–32. Текст: непосредственный.